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      愛德華螺桿真空泵IH80/160維修

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      東莞市品雅真空設備有限公司專業(yè)從事愛德華真空泵設備維修15年,一直秉承著專業(yè)的維修技術,高效的服務態(tài)度來對待可以,常年服務去漢能,中車集團,富士康集團,信利集團等,有著專業(yè)的維修設備和技術人員,可以全國范圍內上門維修保養(yǎng),提供各種進口真空泵配件及維修包,真空泵油脂等。

      愛德華螺桿真空泵IX80/160產品功能與優(yōu)勢:
      優(yōu)化了設施消耗。
      無需預防性維護。
      懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。
      在節(jié)省電機功率的同時最大程度提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩(wěn)定性。
      耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
      較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
      整體式軸桿無需使用電機聯(lián)結器,而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,從而降低了總體占地面積。

      Edwards 高級半導體真空泵已經過現(xiàn)場應用證明,可以按照最高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率,同時最大程度地減小占地面積、降低運行成本,實現(xiàn)了高的可靠性和性能。

      iH 系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。

      行業(yè)應用:
      負載鎖
      輸送
      計量
      平版印刷
      PVD 制程
      PVD 預清潔
      RTA
      剝離/灰化
      刻蝕
      植入源
      HDP CVD
      RTP
      SACVD
      MCVD
      PECVD
      LPCVD
      ALD

      技術參數(shù)

      峰值速度 103?m3h-1
        61?cfm
        1717 l min-1
      極限真空 1?x 10-2?mbar
        7.5?x 10-3?Torr
        1?Pa
      典型軸封氮流量 4 slm
      進氣口連接 ISO63
      出口連接 NW40
      15 psi 壓降下典型冷卻水流量 120 l h-1
        2 l min-1
      重量 240 kg
      極限功率輸入 2.7 kW
      電機額定功率 3.5?kW
      油容量 0.7 l

      IH160技術參數(shù):

      峰值速度 165?m3h-1
        97?cfm
        2750?l min-1
      極限真空 1?x 10-2?mbar
        7.5?x 10-3?Torr
        1?Pa
      典型軸封氮流量 4 slm
      進氣口連接 ISO63
      出口連接 NW40
      15 psi 壓降下典型冷卻水流量 120 l h-1
        2 l min-1
      重量 244 kg
      極限功率輸入 3.1?kW
      電機額定功率 5.0?kW
      油容量 0.85 l

      愛德華螺桿真空泵IH80/160訂貨號:

      iH80 干式泵 460V,60 Hz,3 相
      A59000908
      iH80 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相
      A59000945
      iH80 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
      A59000946
      iH80 干式泵 230V,60 Hz,3 相
      A59000957

      iH160 干式泵 460V,60 Hz,3 相
      A59010908
      iH160 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相
      A59010945
      iH160 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
      A59010946
      iH160 干式泵 230V,60 Hz,3 相
      A59010957

      愛德華真空泵產品多樣化,每個型號有很多的種類,歡迎有需要選擇和購買的客戶來電咨詢品雅真空小楊:13826954831,用最專業(yè)嚴謹?shù)闹R,為客戶提供最佳的方案。

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