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      愛德華新型干泵EPX500N/NE系列

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      東莞市品雅真空設(shè)備有限公司多年來一直從事進(jìn)口真空泵的銷售和維修,我們主要經(jīng)營銷售的品牌有,萊寶,愛德華,安捷倫,瓦里安,阿特拉斯,阿爾卡特,漢鐘等,常年現(xiàn)貨供應(yīng)各種進(jìn)口真空泵的維修配件,耗材,真空泵油等。

      新的緊湊型 EPX500 N/NE高真空干泵的特性是:工作性能更佳,運(yùn)行成本更低。EPX500 使用了獨(dú)特的專利保護(hù)機(jī)械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5?Torr 的極限壓力。

      EPX“N”系列包括一個(gè)可提供氮清洗的氣體模塊,從而可將應(yīng)用范圍擴(kuò)大為中等制程,在這類制程中預(yù)期存在的腐蝕性蒸汽和微粒的程度較低。

      模塊化 EPX500 基于備受贊譽(yù)、大獲成功的 IPX 系列,可提供卓越的性能,與 IPX 相比,包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。

      行業(yè)應(yīng)用:
      負(fù)載鎖
      傳輸腔
      PVD 濺射
      灰化/PR 剝離
      電介質(zhì)刻蝕
      EPX 系列涵蓋廣泛的應(yīng)用,從水處理到中度工作負(fù)載的制程。

      EPX500N/NE性能 參數(shù):

      峰值速度 500 m3h-1
        295 ft3min-1
        8338 lmin-1
      極限真空  
        <1 x 10-6?mbar
        <7 x 10-7?Torr
        <1 x 10-4?Pa
      預(yù)熱時(shí)間(達(dá)到標(biāo)稱性能) 30 分鐘
      入口法蘭 ISO160
      出口法蘭 NW25
      噪音 <59 dB(A)
      最小冷卻水流速 2 lmin-1
      冷卻水溫度 15 – 35°C
      氮?dú)夤┙o接口 1/4 in (6.5 mm) 管
      氮?dú)夤┙o壓力 3 x 105?– 7 x 105?Pa
      最低氮純度 99.95%
      電源供給 200/208 V,50/60 Hz,3 相
      極限功率 1.4 kW
      電機(jī)額定功率 3.0 kW
      TIM C3
      重量 45.2 kg

      EPX500N訂貨號:

      EPX500N 干泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
      A41952112

      EPX500N 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
      A41952212

      EPX500N 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接頭
      A41952222

      EPX500N 干泵 400V TEL TIM 3/8 水接頭
      A41952414

      EPX500N 干泵 208V TEL TIM 1/4 水接頭
      A41952422

      EPX500N 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
      A41952712

      EPX500N 干式泵 400V,3/8 水接頭
      A41952014

      EPX500NE訂貨號:
      EPX500NE 208V 無 TIM 3/8 水接頭
      A41954012

      EPX500NE 400V 無 TIM 3/8 水接頭
      A41954014

      EPX500NE 208V 無 TIM 1/4 水接頭
      A41954022

      EPX500NE 208V SPI TIM 3/8 水接頭
      A41954212

      EPX500NE 400V SPI TIM 1/4 水接頭
      A41954224

      EPX500NE 208V TEL TIM 3/8 水接頭
      A41954412

      EPX500NE 400V TEL TIM 3/8 水接頭
      A41954414

      EPX500NE 400V TEL TIM 1/4 水接頭
      A41954424

      EPX500NE 208V LAM TIM 3/8 水接頭
      A41954512

      EPX500NE 208V MCM TIM 3/8 水接頭
      A41954712

      EPX500NE 400V MCM TIM 3/8 水接頭
      A41954714

      性能優(yōu)勢:
      緊湊的占地面積 – 作為可用的最小工具上泵之一,EPX 顯著節(jié)省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上,從而節(jié)省了前級管道和安裝成本,如果需要也可遠(yuǎn)程安裝。
      低運(yùn)行成本 – EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式,從而可最大化功率效率。
      獨(dú)特的專利保護(hù)機(jī)械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準(zhǔn)壓力,并可以在所有進(jìn)氣口壓力下連續(xù)工作。
      超清潔機(jī)械裝置 – 傳統(tǒng)的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑,這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂,并且不存在任何其他的潛在污染源。
      非??煽?– EPX 基于經(jīng)過現(xiàn)場驗(yàn)證的 IPX 技術(shù),具有 13 年的 MTBFp?(SEMI E10),大約每 5 年維修一次,最大程度地延長了泵的使用壽命。
      可兼容的網(wǎng)絡(luò) – EPX 系列配有最終用戶控制,可以連接到各種結(jié)構(gòu)的網(wǎng)絡(luò),以進(jìn)行診斷監(jiān)視和控制。

      恒溫恒濕試驗(yàn)箱
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